{"product_id":"ieej-zt083116","title":"タルボ干渉用大面積回折格子の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-116\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of large-area Diffraction Grating for Talbot interferometer\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e嶋田和真 (兵庫県立大学),辻井 浩 (兵庫県立大学),野田大二 (兵庫県立大学),矢代 航 (東京大学),百生 敦 (東京大学),服部 正 (兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e回折格子|タルボ干渉計\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eX線位相情報を利用したイメージングはX線と物質との相互作用による位相シフト量が顕著に現れるために、従来の吸収コントラストよりも約1000倍の感度改善が可能となり、X線照射量の大幅な軽減が期待できる。その中の一つX線タルボ干渉計は回折格子2枚を用いた簡単な構成が特徴であるが、その仕様はX線の可干渉距離より回折格子の周期は数µm以下、吸収体厚さ20μm以上と作製は容易ではない。本研究室では、これまでX線リソグラフィ技術を用いて20mm角の回折格子の作製を行ってきた。しかし人体用の医療技術への応用から、回折格子の有効面積を大きくしたいという需要が高い。そこで本研究では高アスペクト比加工が可能なX線リソグラフィによって大面積回折格子を作製することにした。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e2,021 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46397432856815,"sku":"IEEJ-ZT083116-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3b42acba-18f9-4cee-ad9a-0ddee9514bca.png?v=1744848731","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt083116","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}