{"product_id":"ieej-zt083118","title":"X線リソグラフィによるマイクロコイルの製作","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-118\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe production of the microcoil by the X-rays lithography\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e越智 大介(兵庫県立大学),瀬戸本 勝(兵庫県立大学),松本 吉史(兵庫県立大学),野田 大二(兵庫県立大学),服部 正(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eDaisuke Ochi(University of Hyogo),Masaru Setomoto(University of Hyogo),Yoshifumi Matsumoto(University of Hyogo),Daiji Noda(University of Hyogo),Tadashi Hattori(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eX線リソグラフィ|マイクロコイル|高アスペクト比|エッチング\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e巻線コイルを小型・高アスペクト比化することで，小型化には向かないとされる巻線型電磁モータの小型・高性能化を目指している。本実験では，アクリルパイプを基材とし，高アスペクト比構造体の製作が可能な三次元X線リソグラフィ，平滑電界メッキ，平滑エッチングにより，微細かつ高アスペクト比のコイルライン形成を行った。今回，コイルライン形成最終工程のエッチングにおいて，エッチング装置・方法の改良により，問題点であったレートのばらつきを改善し，パイプ全体にコイルラインを形成することができた。今後は，各工程の精度を向上し，さらに高アスペクト比のコイルラインの形成を目指す。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,774 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46397433250031,"sku":"IEEJ-ZT083118-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c8be94cc-9d28-495e-9e63-7970b607c46f.png?v=1744848737","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt083118","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}