{"product_id":"ieej-zt083124","title":"樹脂と金属による直接接合技術","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-124\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDirect Bonding Technology for different type of materials\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e西本 和史(兵庫県立大学),石澤 直也(兵庫県立大学),植田 寛康(東海理化),西田 諭史(ナノクリエート),野田 大二(兵庫県立大学),服部 正(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKazufumi Nishimoto(University of Hyogo),Naoya Ishizawa(University of Hyogo),Hiroyasu Ueda(TOKAI RIKA CO.,LTD.),Satoshi Nishida(NANOCREATE CO.,LTD.),Daiji Noda(University of Hyogo),Tadashi Hattori(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e接合|表面改質|異種材料\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eマイクロデバイスにおいて樹脂と金属との接合技術は、導電層作製の為に重要な技術である。異種材料の場合、材料性質の相違から、低温・低圧による直接接合が望ましい。そこで、プラズマ照射による表面改質を用いた直接接合を試みた。樹脂に対してAr照射による表面の改善とH2Oイオンによる表面改質を検証し、金属薄膜と圧着させる。表面改質では、Ar照射による樹脂表面の粗さの改善及びH2Oイオン照射による金属薄膜との密着強度の向上が確認できた。それらの改質結果を基に接合を行ったところ、低圧で樹脂のガラス転移温度内による接合に成功した。現在、剥離試験による接合強度の測定を行い、接合強度の向上を目指している。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e783 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397434888431,"sku":"IEEJ-ZT083124-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_64bf5aff-9cfe-4d1c-8587-2500f7495020.png?v=1744848782","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt083124","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}