{"product_id":"ieej-zt083126","title":"感光性樹脂への多重露光による圧力センサに関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-126\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Study of Pressure Sensor Fabricated by Photo Sensitive Polymer\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e岸田 雄介(兵庫県立大学),田口 正敏(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYusuke Kishida(University of Hyogo),Masatoshi Taguchi(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e圧力センサ|感光性樹脂|多重露光\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年MEMSのデバイス作製プロセスに重要なフォトリソグラフィには、微細化に加えマスクレス、ハーフトーン、非常に厚い試料や凹凸のある試料への対応が求められている。本研究室ではこれらの要求に対応可能なDMD露光機を作製し、多重露光による自立構造デバイスを作製している。本稿では2段階のリソグラフィによる密閉構造を作製し、構造内部は大気で密閉され、この圧力と印加圧力の差圧を測るMEMS圧力センサの設計、試作結果について述べる。なお上部電極であるメンブレンが圧力の印加によってたわみ、電極間の静電容量が変化し、この容量変化をC\/V変換することで圧力を検出する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e871 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397434462447,"sku":"IEEJ-ZT083126-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_0352f211-3c97-460a-8d40-6f772bb30077.png?v=1744848776","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt083126","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}