{"product_id":"ieej-zt083137","title":"櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOIジャイロスコープ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-137\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eY-axis vibrating SOI gyroscope using vertical comb electrodes\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e濱口 裕之(京都大学),菅野 公二(京都大学),土屋 智由(京都大学),田畑 修(京都大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroyuki,Hamaguchi|Kouji,Sugano|Toshiyuki,Tsuchiya|Osamu,Tabata\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eジャイロスコープ|振動型ジャイロ|SOI|櫛歯型電極|vertical comb electrode\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e加速度センサや振動型ジャイロに代表されるMEMSセンサは小型化，低コストといった利点のために広く普及し，今後，より一層の低コスト化が求められている．そこで特殊な櫛歯型垂直変位電極の原理に着目した．ここでは高さの異なる櫛歯型電極対をSOIデバイス層に作製し，Z軸方向の変位を検出する．我々はこれまで，この新奇な電極構造を応用することでSOIウエハのデバイス層のみから成る3軸加速度センサを作製している．今回，このZ軸方向変位検出の原理を振動型ジャイロに適用する．平面構造によるZ軸回転検出の振動型ジャイロは数多く報告されており，本研究で提案する基板面内軸(Y軸)回転検出振動型ジャイロと3軸加速度センサを組み合わせることで，同一プロセスで全6軸の慣性力が検出可能なデバイスを同一チップ上に作製できる．ここではこのY軸ジャイロの設計について報告する．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,404 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46397436920047,"sku":"IEEJ-ZT083137-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_1a2c2dc6-2a8d-4575-9989-0fe79ee5453d.png?v=1744848839","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt083137","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}