{"product_id":"ieej-zt083149","title":"比例型絶対温度センサを用いた真空センサの検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-149\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eInvestigation of the Vacuum Sensor Using Proportional Type Absolute Temperature Sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e木村光照 (東北学院大学),高嶋徳明 (東北学院大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e温度センサ|真空センサ|SOI|絶対温度|トランジスタ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eこれまで我々は、絶対温度Tに対して正比例の出力電圧VOが得られる比例型絶対温度センサを開発してきた。これを薄膜ピラニ真空センサに適用した結果、10＾5 Paから10＾-3 Paの圧力を測定可能な真空センサが得られた。また、温度センサにトランジスタを用いることで、更に広い電流範囲で使用可能であるため高感度化が期待できる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e631 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397440295151,"sku":"IEEJ-ZT083149-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b24cfca6-f613-481e-b7de-4b62d158bdae.png?v=1744848937","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt083149","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}