{"product_id":"ieej-zt083173","title":"カンチレバーガスセンサのVOC検出感度評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-173\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eVOC detection sensitivity evaluation of a cantilever gas sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e池原 毅(産業技術総合研究所),魯 健(産業技術総合研究所),布川 正史(信州大学),木村 睦(信州大学),三原 孝士(オリンパス)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTsuyoshi Ikehara(AIST),Jian Lu(AIST),Tadashi Fukawa(Shinshu University),Mutsumi Kimura(Shinshu University),Takashi Mihara(Olympus Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e質量センサ|ガスセンサ|カンチレバー|感度|QCM\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e振動式ガスセンサとして、シリコン微細加工を使って作られるカンチレバー振動子は、さらに高感度・集積化を実現するセンサプラットフォームとして期待されている。本報では、ポリブタジエン膜を付けた厚さ5μm、長さ500μmのマイクロカンチレバー振動子を試作し、その感度を評価した。125ppm?1000ppmのトルエンを含んだ窒素ガスに対するカンチレバー振動子（2次モード）の共振周波数を測定したところ、5?40Hz程度の周波数変化が観測された。同時に測定したQCM（9MHz）と比較しても、周波数変化、応答時間、安定度ともに遜色がなかった。さらにこれらの感度解析を行う。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e844 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397446389999,"sku":"IEEJ-ZT083173-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d5f38e7c-d370-4cde-8355-3e2877d17929.png?v=1744849099","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt083173","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}