{"product_id":"ieej-zt083174","title":"マイクロカンチレバー検出器と吸着管を用いた小型化学センサシステム","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-174\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMiniature chemical sensor system employing a micro-cantilever detector and an adsorption tube\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e三原 孝士(オリンパス),池原 毅(産業技術総合研究所),魯 健(産業技術総合研究所),前田 龍太郎(産業技術総合研究所),木村 睦(信州大学),布川 正史(信州大学),劉 野(信州大学),平井 利博(信州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakashi Mihara(Olympus FCL),Tuyoshi Ikehara(AIST),Jian Lu(AIST),Ryutaro Maeda(AIST),Mutsumi Kimura(Shinshu University),Tadashi Fukawa(Shinshu University),Ye Liu(Shinshu University),Toshihiro Hirai(Shinshu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e化学センサー|マイクロ振動子|カンチレバー|吸着管\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e高感度な質量検出器の一つであるMEMSプロセスで作成したマイクロカンチレバーと、カーボンファイバーを充填した吸着管を用いて、小型化学センサーの実験機を作成した。全体システムは、小型ポンプ、吸着管、カンチレバー、QCMおよびMOSセンサーを含むセンサー容器、カンチレバーを発振させるアナログ帰還回路、PCを用いた制御・計測系で構成される。カンチレバーは長さ500μm、幅100μm、厚さ5μmでSOIウェハーを用いて作成され、153kHzの2次振動モードで発振させ、検出はP型半導体を用いたピエゾ抵抗を用いた。エタノール、トルエンの混合ガスを吸着管に吸着させ、吸着管を約500度Cまで加熱して、その離脱ガスをカンチレバーセンサーの振動数変化で検出し、2つのピークに分離されることを確認した。また10分、30分、60分と吸着時間を変えた場合のセンサー応答が、吸着時間に比例することを確認し、小型分析システムとしの可能性を示した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e737 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397447012591,"sku":"IEEJ-ZT083174-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_ca57f874-8384-440a-ab9d-bac9d4f38480.png?v=1744849111","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt083174","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}