{"product_id":"ieej-zt111075","title":"高E\/n放電空間中での陰極付近のイオンエネルギー分布測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-075\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMeasurement of Ion Energy Distribution at the Cathode under High E\/n Electric Discharge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e平沼 史弥(東京都市大学),岩尾 徹(東京都市大学),湯本 雅恵(東京都市大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eFumiya Hiranuma(Tokyo City University),Toru Iwao(Tokyo City University),Motoshige Yumoto(Tokyo City University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e高\u0026lt;l\u0026gt;E\/n\u0026lt;\/l\u0026gt;放電|イオンエネルギー分布|窒素イオン\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e高分子材料であるPTFE（Poly-Tetra-Fluoro-Ethylene）は低誘電率，化学的に安定など優れた特性があり，多くの分野で有要な材料として注目されている。しかし，PTFEは他材料との接着力が弱い欠点を持っている。接着力向上法として，窒素中での高\u003cl\u003eE\/n\u003c\/l\u003e(\u003cl\u003eE\u003c\/l\u003e：電界，\u003cl\u003en\u003c\/l\u003e：粒子密度)放電処理法に着目した。照射されるイオンを制御するとPTFEの表面エネルギーが変化するので，イオンエネルギー分布が重要であると判断した。そこで，本研究では高\u003cl\u003eE\/n\u003c\/l\u003e放電空間中での陰極付近のイオンエネルギー分布を実験的に算出することを目的とする。 その結果，検出された最大エネルギーは170eV程度であり，通常の低気圧中での放電と比べ高いエネルギーのイオンが多く存在することが実験的に確認された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e840 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398701535471,"sku":"IEEJ-ZT111075-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_291d9fa9-3876-4cc4-b158-c2f0fdd42fb9.png?v=1744876112","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt111075","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}