{"product_id":"ieej-zt111076","title":"噴流型大気圧グロープラズマによるITO薄膜の抵抗率低減へ向けた実験的検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-076\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eExperimental Discussion for Lowering of ITO Thin Film’s Resistivity by Gas-stream Type Atmospheric Pressure Glow Plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e稲塚隆太 (東海大学),大山龍一郎 (東海大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eRyuta Inazuka(Tokai University),Ryu-ichiro Ohyama(Tokai University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e大気圧グロープラズマ|ITO|抵抗率|表面処理\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では大気圧下でグロー状放電を生成する噴流型大気圧グロープラズマ発生装置の開発と，その応用に関する研究を行なっている。本報では，ディップコーティング法によりITO薄膜を作製し，その表面へプラズマ照射を行なうことで，膜抵抗率の低減を試みた。本報では，SEMによる膜の断面と表面の観察，四探針法による抵抗値について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,157 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398701568239,"sku":"IEEJ-ZT111076-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_2737b222-fd83-4848-b9e7-28ed0b486190.png?v=1744876115","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt111076","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}