{"product_id":"ieej-zt111136","title":"回折モアレ光を用いた微小角度変位センサ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-136\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAngle displacement using diffraction moire\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e樋口 智哉(愛知工業大学),内田 敬久(愛知工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTomoya Higuchi(Aichi Institute of Technology),Yoshihisa Uchida(Aichi Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e角度センサ|モアレ|干渉法|アライメント|位置決め\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では回折モアレ光を用いた微小角度変位センサを開発した．センサ部は光源である半導体レーザ，1組の回折格子対，フォトディテクタによって構成されている．回折モアレ光の光強度は2枚の回折格子の相対角度変位に依存し周期的に変化するため，この特性を角度変位計測に用いる．また，レーザを用いることで非接触計測が可能であり，あらかじめワークと基準面に格子マークを取り付けることで，ワークと基準面との相対角度変位を検出することができる．本論文では，理論式を用いてシミュレーションを行ない，P=10μmのとき，理論分解能2.2×10－5 radという結果が得られた．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,583 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398707597551,"sku":"IEEJ-ZT111136-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_81b8271e-2917-40b4-ab2e-412da1b73af2.png?v=1744876412","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt111136","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}