{"product_id":"ieej-zt111199","title":"高周波低圧プラズマCVDにおける発光分光計測","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-199\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eOpteical Emission Spectroscopy Measurement of High-frequency Low-pressure at Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e湯地敏史 (宮崎大学),清田佑一 (宮崎大学),川野 美延(宮崎大学),中林 健一(宮崎大学),田代 真一(大阪大学),田中 学(大阪大学),赤塚 洋(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuichi Kiyota(Univeraity of Miyazaki),Toshifumi Yuji(Univeraity of Miyazaki),Minobu Kawano(Univeraity of Miyazaki),Kenichi Nakabayashi(Univeraity of Miyazaki),Shinichi Tashiro(Osaka University),Manabu Tanaka(Osaka University),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e発光分光計測|プラズマCVD|Ar+N2混合ガス|太陽電池|低圧\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eあああ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e820 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398713069807,"sku":"IEEJ-ZT111199-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a1acc768-f604-44da-9df4-021bf188d6a7.png?v=1744876713","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt111199","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}