{"product_id":"ieej-zt111203","title":"大面積ダイヤモンドライクカーボン成膜に向けた大気圧線状パルス放電プラズマの特性評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-203\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCharacteristics of line pulsed discharge plasma at atmospheric pressure for preparation of diamond-like carbon films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e福井 経太(兵庫県立大学),宮前 公準(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),松尾 吉晃(兵庫県立大学),堀口 恭光(栗田製作所),西村 芳実(栗田製作所),永田 正義(兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKeita Fukui(University of Hyogo),Masanori Miyamae(University of Hyogo),Yusuke Kikuchi(University of Hyogo),Yoshiaki Matuo(University of Hyogo),Yasumitsu Horiguchi(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Yoshimi Nishimura(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Masayoshi Nagata(University of Hyogo),Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e大気圧プラズマ|DLC\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eダイヤモンドライクカーボン（DLC）は高硬度，高絶縁性等の特徴を有しており，DLC膜は表面処理として強いニーズがある。これまでに低気圧放電プラズマを用いたDLC成膜装置は実用化されているが，真空排気系を必要とするため装置コストが高く，対象物のサイズは真空容器により制限される課題もある。本研究では大面積・高速DLC成膜実験を目的として、大気圧線状放電プラズマ装置の開発と成膜実験を行ったので、それらの結果を報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e804 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398713757935,"sku":"IEEJ-ZT111203-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_aef205e2-4383-48b0-b33f-1c90cda70fc1.png?v=1744876755","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt111203","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}