{"product_id":"ieej-zt112081","title":"水素アシストICP法によるダイヤモンド状炭素の成膜","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-081\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSynthesis of Diamond Like Carbon by Hydrogen Assist Inductively Coupled Plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e當麻誠仁 (日本大学),磐瀬 暢 (日本大学),胡桃 聡 (日本大学),鈴木 薫 (日本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eダイヤモンド状炭素|誘導結合プラズマ|水素\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e現在、化石燃料の大量消費による地球温暖化が懸念されている。そこでダイヤモンド状炭素（Diamond like Carbon : DLC）太陽電池の成膜を試みた。DLCは耐摩耗性、高硬度、耐食性、低コスト、光学的高透過性と優れた特性を持ち、sp\u003csup\u003e2\u003c\/sup\u003e、sp\u003csup\u003e3\u003c\/sup\u003e混成軌道のアモルファス構造になっているため、成膜方法や条件によってsp\u003csup\u003e2\u003c\/sup\u003e、sp\u003csup\u003e3\u003c\/sup\u003e混成軌道の割合を調整できるため、現在も用途拡大が活発になされている。我々は、プラズマのエネルギー密度が高い誘導結合プラズマ（Inductively Coupled Plasma : ICP）を用いることにより、イオン化を促進してDLCの成膜を試みた。本稿では、水素の流量と基板電圧を変えることにより、sp\u003csup\u003e2\u003c\/sup\u003e、sp\u003csup\u003e3\u003c\/sup\u003e混成軌道の割合を制御し、DLC薄膜の光学的・電気的特性を報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,135 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398732828911,"sku":"IEEJ-ZT112081-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_92674d2f-2f61-4904-9eef-b42ec0351674.png?v=1744877360","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt112081","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}