{"product_id":"ieej-zt112099","title":"全固体ECD用AlドープZnO薄膜の室温成膜","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-099\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eRoom Temperature Growth of Al-doped ZnO Thin Films for Use All-Solid-State ECDs\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大島 多美子(佐世保工業高等専門学校),村上 雄紀(佐世保工業高等専門学校),川崎 仁晴(佐世保工業高等専門学校),須田 義昭(佐世保工業高等専門学校),柳生義人 (佐世保工業高等専門学校)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTamiko Ohshima(Sasebo National College of Technology),Yuuki Murakami(Sasebo National College of Technology),Hiroharu Kawasaki(Sasebo National College of Technology),Yoshiaki Suda(Sasebo National College of Technology),Yoshihito Yagyu(Sasebo National College of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e透明導電膜|酸化亜鉛|PLD法|エレクトロクロミック\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では，全固体型エレクトロクロミックディスプレイ（ECD）の電極部である透明導電薄膜の作製を行った。その際，ITOの代替材料として注目されているZnを原料とした酸化亜鉛（ZnO）系透明導電薄膜に着目し，パルスレーザ堆積（PLD）法を用いてAl ドープZnO（AZO）薄膜の作製を行い，透明且つ導電性に優れたAZO薄膜の最適作製条件を調べ，ECD電極部への利用可能性を検討した。その結果，レーザフルエンス4J\/cm2，酸素ガス圧力1 Paのとき抵抗率が5.8×10-4 Ωcmと最も低く，可視光域での平均透過率が80%以上の優れた特性を有するAZO薄膜を室温中で作製することができた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e840 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398736892143,"sku":"IEEJ-ZT112099-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_27916ff3-57e8-4e0c-bad8-85f90b4a89dd.png?v=1744877467","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt112099","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}