{"product_id":"ieej-zt112106","title":"FET型NO2センサの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-106\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of NO2 Sensor Using Field Effect Transistor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e縄稚 典生(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),塚村 慶子(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),伊藤幸一 (広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),本多 正英(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),山本 晃(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNorio Nawachi(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Keiko Tsukamura(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Koichi Itoh(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Masahide Honda(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Akira Yamamoto(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eNO2センサ|FET\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eガス選択性の高い固体電解質をガス検知材料に用い，電界効果トランジスタ（FET：Field Effect Transistor）と組み合わせた高感度なガスセンサを開発した。FETは，ゲート部に金属電極のないISFET（Ion Sensitive FET）を作製し，ゲート部上に亜硝酸ナトリウム（NaNO2）を主成分とする固体電解質を接合した。作製したFETは，電圧・電流特性からゲート部に電圧を印加しなくても導通するデプレッション形であることが確認できた。また，センサ特性を評価したところ，NO2ガス導入前後で，ドレイン電流IDに変化が認められた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e776 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398737187055,"sku":"IEEJ-ZT112106-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_9d41b1ab-1588-49ff-a70a-856f1a4c0981.png?v=1744877483","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt112106","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}