{"product_id":"ieej-zt113138","title":"分割型補助電極を有する静電式共振子の静電チューニング特性評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-138\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEvaluation of Electrostatic Tuning Characteristics of an Electrostatic Resonator with Split Auxiliary Electrodes\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e飯高 俊哉(千葉工業大学),水口 和彦(エドワーズ),室 英夫(千葉工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShunya Iitaka(Chiba Institute of Technology),Kazuhiko Mizuguchi(Edwars Japan Limited),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e静電式共振子|静電チューニング|SOI-MEMS|補助電極\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年表面マイクロマシーニング技術による共振型センサや共振子などが研究されているが、これらは共振を用いることで他のパラメータへの依存性を低減し、共振周波数変化を検出することで大きな分解能が得られる。共振周波数は製造誤差等によりずれが生じることがあり、製造後に共振周波数をチューニングするための技術が不可欠である。本研究では分割型補助電極を有する静電共振子の設計・試作を行い、静電チューニング特性の評価を行った。検討を行った静電共振子の基本構造は、慣性質量を両側から2本ずつ梁で支持する両持ち梁構造でSOI-MEMSプロセスで試作し、2つの補助電極の片側印加の場合、両側印加の場合の評価結果を比較検討した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e683 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398754619631,"sku":"IEEJ-ZT113138-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_10b1e050-2fac-4b35-a0fb-151f143c9832.png?v=1744878453","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt113138","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}