{"product_id":"ieej-zt113168","title":"カンチレバー型触覚センサのNiCrゲージ薄膜抵抗温度係数のエラストマ埋め込みによる影響","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-168\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eInfluence of Embedding in Elastomer of TCR of NiCr-Gauge-Thin-Film of Tactile Sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e守口 裕介(大阪大学),平嶋 大樹(大阪大学),寒川 雅之(大阪大学),金島 岳(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学),野間 春生(国際電気通信基礎技術研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYusuke Moriguchi(Osaka University),Daiki Hirashima(Osaka University),Masayuki Sohgawa(Osaka University),Takeshi Kanashima(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University),Haruo Noma(Advanced Telecommunications Research Institute International)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e触覚センサ|熱膨張率|抵抗温度係数|エラストマ|カンチレバー\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では、傾斜角を持つマイクロカンチレバーを用いた圧力と剪断力を同時に検知可能な3軸力触覚センサに関して、カンチレバー部の反り量と抵抗温度係数(TCR)の関係とカンチレバーのリリースによるTCRの変化やカンチレバー保護用のエラストマに埋め込むことによるTCRの変化について検討した。結果、カンチレバーの反り量とTCRはほぼ比例の関係となった。また、カンチレバーをリリースした時、応力層のCYTOPと活性層Siの熱膨張率の違いによりカンチレバー部が変形しTCRが大きく増加した。しかし、エラストマ内にカンチレバーを埋め込むことでカンチレバーの変形を抑えTCRの増加を抑制できることが分かった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,124 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398758027503,"sku":"IEEJ-ZT113168-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_9390afe4-f0a3-4cf6-a957-7e5ddbb7d074.png?v=1744878618","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt113168","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}