{"product_id":"ieej-zt113172","title":"センサ応用のためのP(VDF\/TrFE)薄膜の評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-172\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe Evaluation of the P(VDF\/TrFE) Thin Film for Sensor Applications\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e塩野 祥平(兵庫県立大学),蒋 永剛(科学技術振興機構),濱田 浩幸(科学技術振興機構),樋口 行平(科学技術振興機構),藤田 孝之(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSyohei Shiono(University of Hyogo),Yonggang Jiang(Japan Science and Technology Agency),Hiroyuki Hamada(Japan Science and Technology Agency),Kohei Higuchi(Japan Science and Technology Agency),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003ePVDF|P(VDF\/TrFE)|エッチング|圧電\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、少子高齢化や生活習慣病の増加に伴い、健康に対する関心が高まっている。本研究室では、MEMS 技術を用いたセンサを開発し、集積化することで様々なデータをモニタリングし、常時健康状態を把握できるシステムの構築を目指している。本研究では、心拍測定などへの応用が期待される圧電材料として、PVDF(ポリフッ化ビニリデン)を用いた各種センサ応用を検討し、MEMS プロセスとの融合を目指し、P(VDF\/TrFE)を用いたプロセスの確立を行った。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e812 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398758682863,"sku":"IEEJ-ZT113172-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_fe15ae20-7a56-474c-9953-5f644327d35f.png?v=1744878655","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt113172","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}