{"product_id":"ieej-zt114181","title":"電力4分配・合成器を用いた大気圧誘導結合プラズマ用高周波電源の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-181\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of a RF generator for atmospheric pressure inductively coupled plasma using 4-ports power divider and combiner\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e藤原 康平(東京都立産業技術研究センター),小林 丈士(東京都立産業技術研究センター),鐘ヶ江正巳 (東京都立産業技術研究センター),加藤恭一 (東京都立産業技術研究センター),鈴木 仁(東京都立産業技術研究センター),福岡 大輔(東京都立産業技術研究センター)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKohei Fujiwara(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Takashi Kobayashi(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Masatomo Kanegae(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Kyoichi Kato(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Masashi Suzuki(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Daisuke Fukuoka(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e高周波電源|大気圧誘導結合プラズマ|電力分配器・合成器\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e大気圧誘導結合プラズマ発生用に40.68MHz、出力1kWの高周波電源を開発した。本機の終段増幅部は、励振増幅部で得られた電力を4分配する分配器、パワーMOS-FETを用いたプッシュ・プル増幅器、電力合成器から構成されている。　本講演では、高周波電源の開発、性能評価の結果等に関して報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e439 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46398785224943,"sku":"IEEJ-ZT114181-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_28a20ccc-9bde-4da4-ad3c-543cfabdda8f.png?v=1744879590","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt114181","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}