{"product_id":"ieej-zt122099","title":"集束イオンビーム化学気相成長法によるテラヘルツ波検出アンテナの作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-099\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2012\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProduction of the Terahertz antenna by Focused Ion Beam - Chemical Vapor Deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田村 拓(日本大学),胡桃 聡(日本大学),鈴木 薫(日本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTaku Tamura(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e集束イオンビーム|テラヘルツ波\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e集束イオンビーム装置（Focused Ion Beam：FIB）はナノスケールまでGa\u003csup\u003e＋\u003c\/sup\u003eイオンビームを絞り、ビームを照射させて試料を観察しながらエッチングやイオン注入、原料ガスを吸着させて堆積物を生成させるデポジションができる。よって微細で立体的なダイポールアンテナの製作が可能となる。生体の分子振動が約2μm?14μm程度なのでテラヘルツ波の発生源とする自由電子レーザ(Free Electron Laser : FEL)や、CO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eレーザを検出できるアンテナの形成を試みる。本研究ではFIB-CVDを用いたダイポールアンテナの形成について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e731 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399527354607,"sku":"IEEJ-ZT122099-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f8711b55-c745-4cea-9efe-ba7629f58ef7.png?v=1744900001","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt122099","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}