{"product_id":"ieej-zt123123","title":"差動測定法による櫛歯電極型共振器の変位測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-123\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2012\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDisplacement measurement of comb-drive resonator with differential measurement\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e八尾 惇(京都大学),引原 隆士(京都大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAtsushi Yao(Kyoto University),Takashi Hikihara(Kyoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e変位測定|共振器|マイクロマシン|差動測定|セルフセンシング\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eマイクロマシンの一つである共振器において, 様々な変位の測定方法が存在する. 測定の際, アクチュエータがセンサを兼ねることが可能であれば, センサの設置スペースが不要であり, システム全体の小型化がはかれる. また, センサコストの削減が可能である. さらに, センサを設置することにより, 共振器の振動に影響が出る可能性があるが, セルフセンシングであればこの問題は解消される. このような観点から, 本報告では, 差動測定法を用いることにより, 櫛歯電極型共振器の振動に影響を与えずに, 変位を測定できることを確認した. また, 増幅回路は必要であるが, センサを設置することなく, 変位の測定が可能であることを示した.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e813 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399285428463,"sku":"IEEJ-ZT123123-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f1667676-82a0-46ef-b418-3deaad8b8b5d.png?v=1744894297","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt123123","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}