{"product_id":"ieej-zt123130","title":"MEMSミラーを用いた小型3次元センサの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-130\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2012\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of Compact 3-D Sensor with MEMS mirror\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e野口 琢也(三菱電機),橋本 充夫(三菱電機),白附晶英 (三菱電機),鹿井 正博(三菱電機),奥田 晴久(三菱電機),仲嶋 一(三菱電機)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakuya Noguchi(Mitsubishi Electric Corporation),Mitsuo Hashimoto(Mitsubishi Electric Corporation),Akihide Shiratsuki(Mitsubishi Electric Corporation),Masahiro Shikai(Mitsubishi Electric Corporation),Haruhisa Okuda(Mitsubishi Electric Corporation),Hajime Nakajima(Mitsubishi Electric Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eMEMS|セル生産|3次元センサ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e柔軟性の高いセル生産方式の実現に向けて，コンパクトなロボットにも搭載可能な小型3次元センサを開発した．従来ヘッドサイズの大型化の要因であったスキャンミラーにMEMSミラーを採用し，さらにフィードバック制御系でミラーの安定性を確保することで精度を維持したまま3次元センサの小型化が可能となり，産業用ロボットへの適用に有効であることを確認した．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e867 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399545934063,"sku":"IEEJ-ZT123130-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3d690b42-3f40-48ed-96f5-31ed873c15ac.png?v=1744900575","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt123130","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}