{"product_id":"ieej-zt123131","title":"角度センシング機能を有する回転型静電MEMSミラーの設計と製作","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-131\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2012\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDesign and Fabrication of Rotational Type Electro-Static Micro Mirror with Angle Sensing Ability\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e篠崎 亮輔(香川大学),大平 文和(香川大学),寺尾 京平(香川大学),鈴木 孝明(香川大学),下川 房男(香川大学),高尾 英邦(香川大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eRyosuke Shinozaki(Kagawa University),Fumikazu Oohira(Kagawa University),Kyohei Terao(Kagawa University),Takaaki Suzuki(Kagawa University),Fusao Shimokawa(Kagawa University),Hidekuni Takao(Kagawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e静電アクチュエータ|マイクロミラー|ロータリエンコーダ|MOB\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年，MEMS技術を用いた微小光学部品が開発され，光学装置の小型化に寄与している．代表的な微小光学部品としてMOB (Micro Optical Bench)，MEMSミラーがある．MOBはSi基板上に設けられた溝にファイバー，ミラー等を設置することで光学調整の簡略化を実現するが，ミラーを可動させる光軸調整は困難である．MEMSミラーを用いて偏向駆動を可能とすれば，電気的な光軸調整も可能となるが，従来のMEMSミラーは基板面上（すなわち水平型）のミラーを駆動させている．本研究では，MOBへの集積化を可能とする垂直型（面外方向）のミラーを駆動させる方式をとることで，同一基板上にデバイスとファイバー設置部，回転方向，角度検出センサの一括形成可能な回転型静電MEMSミラーの設計と製作を行ったので報告する．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,955 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399545966831,"sku":"IEEJ-ZT123131-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_27ec9511-a056-435f-a636-d9001bf1858c.png?v=1744900579","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt123131","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}