{"product_id":"ieej-zt123134","title":"光制御Spindt型カーボンナノチューブ電界放出素子アレイ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-134\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2012\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eOptical Switchable Spindt-type Carbon Nanotube Field Emitter Array\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田中 雄次郎(東北大学),宮下 英俊(東北大学),小野 嵩人(東北大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYujiro Tanaka(Graduate School of Engineering,Tohoku University),Hidetoshi Miyashita(Graduate School of Engineering,Tohoku University),Takahito Ono(Graduate School of Engineering,Tohoku University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマルチ電子線リソグラフィー|マイクロファブリケーション|並列電子源|光スイッチング\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e並列電子線描画装置に用いる目的で、pn接合構造をもつSiの突起にカーボンナノチューブ(CNT)を成長させたSpindt型の電子源アレイを作製し、その動作を確認した。この電子源は、レーザーの照射により電子線のスイッチングを行うことができる。電子源アレイは、pn接合を組み込んだSiの突起をSiの薄膜構造上に作り、その上にCNTを成長させてエミッタとした。また、Wのゲート電極が作り込まれている。エミッタとゲート電極間に印加した電圧によりpn接合を逆バイアス状態にし、電子源アレイの背面にレーザー（波長660nm）を照射した。その結果、電子源から放出された電流がレーザーのON\/OFFに同期していることを確認した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,632 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399451627759,"sku":"IEEJ-ZT123134-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_75848626-210c-4766-894a-217602bee852.png?v=1744898790","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt123134","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}