{"product_id":"ieej-zt131174","title":"ダイヤモンド膜生成用変調誘導熱プラズマにおけるC2，Hスペクトルの立ち上がり継続時間依存性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-174\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003eダイヤモンド膜生成用変調誘導熱プラズマにおけるC\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e，Hスペクトルの立ち上がり継続時間依存性\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eRising Ratio Dependence of C\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e and H Spectral Intensities during Diamond Films Fabrication using Modulated Thermal Plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e堀田 宗佑(金沢大学),春多洋佑 (金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSosuke Horita(Kanaza University),Yosuke Haruta(Kanaza University),Yasunori Tanaka(Kanaza University),yoshihiko Uesugi(Kanaza University),Tatsuo Ishijima(Kanaza University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e変調誘導熱プラズマ|ダイヤモンド|分光観測\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eこれまで筆者らは, パルス変調誘導熱プラズマを用いて，Si基板表面上でのダイヤモンド膜生成実験をおこなってきた。今回，Si基板への照射ラジカル量をより詳細に制御するために，新たに任意波形変調誘導熱プラズマを用いた。変調波形は三角波から鋸波までの三角形状とし，C\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e，Hスペクトル放射強度への影響を検討した。プラズマの分光観測結果から，立ち上がり継続時間比RRを変更するとC\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eの放射強度の変化は小さいが，Hαの放射強度は大きく変化することが分かった。よって，立ち上がり継続時間比RRを変更することで，C\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e分子の照射量を変化させずにH原子の照射量を制御できると考えられる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e624 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399653609711,"sku":"IEEJ-ZT131174-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_334c1101-b97e-4173-b953-52ada4f3920e.png?v=1744903962","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt131174","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}