{"product_id":"ieej-zt131181","title":"低温重水素プラズマにおける窒素導入による炭素膜堆積抑制実験","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-181\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSuppression of Carbon Film Deposition by Nitrogen Addition in Low Temperature Deuterium Plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e飯田 和也(金沢大学),野谷 昌弘(金沢大学),佐々木 彩(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),田中 康規(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKazuya Iida(Kanazawa University),Masahiro Notani(Kanazawa University),Aya Sasaki(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e今回、核融合炉における遠融プラズマ領域での不純物膜堆積、水素同位体吸蔵に関する知見を得るため、Heliotron-DR装置を用いて重水素\/メタンプラズマを試料へ照射する。この条件下において窒素添加による炭素膜堆積の成長抑制効果、水素同位体の吸蔵特性を調べた。水素\/メタン\/窒素プラズマの分光観測結果より、揮発性のCNやNH分子の発光を確認できる。また、水素\/メタン\/窒素の炭素膜厚の表面温度依存性から、窒素添加による顕著な膜厚の減少が確認された。これらより、重水素\/メタンプラズマに窒素を導入した際にも非凝集性のCNやND分子が形成され、炭素膜堆積、ダスト形成が抑制されることが期待される。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e303 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399654658287,"sku":"IEEJ-ZT131181-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_234d88b7-a88c-4010-b25d-2a937e27aba6.png?v=1744904002","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt131181","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}