{"product_id":"ieej-zt132077","title":"レーザアニールによるZnO薄膜の結晶性改善","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-077\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eImprovement of ZnO films crystallization by laser annealing method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e生井 宏樹(日本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroki Namai(Nihon University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eレーザアニール|結晶性|赤外光\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e酸化亜鉛(ZnO)は六方ウルツ鉱の結晶構造を持ち、その特性は室温でバンドギャップ: 3.37 eVを示し、励起子束縛エネルギーが60 meVのためLEDの代替資源として期待されている。しかし、ZnOの結晶成長技術が不完全であるため酸素欠損が起こり、結晶に欠陥ができるため未だデバイス化には至ってない。結晶性のために赤外光支援PLD法を用いてZnO薄膜を成膜後、空気中でレーザアニールを266と355, 532,1064 nmと変化させて行っていき酸化亜鉛の結晶改善を評価した。評価方法はX線回折を行い結果は532 nmよりも短い波長でアニールすると不純物が消失し結晶性が改質された。一番短波長な266 nmでのアニールは結晶子も大きくなり、今回の測定で最も改質された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e405 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399170150639,"sku":"IEEJ-ZT132077-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_4b7eb44a-9ca0-4c06-a392-867e6161123c.png?v=1744890120","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt132077","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}