{"product_id":"ieej-zt132082","title":"集束イオンビームGa+注入によるダイヤモンド状炭素ダイオードの作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-082\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of Diamond Like Carbon diode by Focused Ga+ Ion Beam injection\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e中條厚作 (日本大学),高原 祐介(日本大学),胡桃 聡(日本大学),鈴木 薫(日本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKosaku Chujo(Nihon University),Yusuke Takahara(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e集束イオンビーム|ショットキーダイオード|ダイヤモンドライクカーボン\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eDLC(Diamond Like Carbon)の構造は通常水素を若干含有した非結晶(アモルファス)構造でダイヤモンド結合やグラファイト結合などを持っている。このDLCに不純物としてⅢ属元素であるGaイオンを集束イオンビーム装置により注入する事で導電性を付加することが可能である。我々は、Gaイオンを注入したDLCとPt電極との間の界面のI-V特性はオーミック特性を示し、Al電極の場合ダブルショットキー特性を示すことを過去に報告している。今回の報告では、これらの金属を組み合わせ、ショットキーダイオードの製作を試みた。その結果、Gaイオンを注入したDLCと金属との間の界面のI-V特性は、金属がPtとAlの場合整流作用が見られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e346 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399660851439,"sku":"IEEJ-ZT132082-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_62b2b2e6-7bb2-4705-b6cd-f96db9b5414b.png?v=1744904279","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt132082","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}