{"product_id":"ieej-zt132131","title":"Si基板上に成膜した等方性Nd-Fe-B系厚膜磁石","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-131\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eIsotropic Nd-Fe-B thick film magnets deposited on Si substrates\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e押領司 学(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学),藤井 泰久(KRI)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eManabu Oryoshi(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University),yasuhisa Fujii(KRI corp)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003ePLD法|MEMS|Taバッファー|Nd-Fe-B\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本稿では，MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)への応用を鑑み，数10 μm\/h以上の成膜速度を有するPLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い，10 ?100 ?m厚の広い膜厚範囲でNd-Fe-B系厚膜磁石をSi基板上に成膜し，保磁力を中心にその磁気特性を評価した。本実験ではSi基板上へのTaバッファー層とTaコーティング層ならびにその間に挟まれる10 ?m厚以上のNd-Fe-B系厚膜磁石より構成されている。実験結果として，10?120 μmの幅広い膜厚範囲で，1000 kA\/m程度の高保磁力を実現できることが了解される。しかしながら，Nd-Fe-B層の厚膜化によりSi基板がその厚さ方向に乖離する現象が見られた。この原因は，現在のところ不明であるものの，Taバッファー層を厚くし試料を作製したところ，上記のSi基板の乖離現象が抑制できた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e259 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399668355311,"sku":"IEEJ-ZT132131-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f1e1ee1d-772d-4a80-9412-6c09989137c2.png?v=1744904592","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt132131","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}