{"product_id":"ieej-zt133122","title":"高Q値単結晶4H-SiCマイクロカンチレバー","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-122\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSingle-Crystalline 4H-SiC Micro Cantilevers with a High Quality Factor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e足立 亘平(京都大学),渡辺 直樹(京都大学),岡本 創(NTT物性科学基礎研究所),山口 浩司(NTT物性科学基礎研究所),木本 恒暢(京都大学),須田 淳(京都大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKohei Adachi(Kyoto University),Naoki Watanabe(Kyoto University),Hajime Okamoto(NTT Basic Research Laboratories),Hiroshi Yamaguchi(NTT Basic Research Laboratories),Tsunenobu Kimoto(Kyoto University),Jun Suda(Kyoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eカンチレバー|SiC|共振|Q値|MEMS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e電気化学エッチングによるpn選択的エッチングおよび熱酸化を用いて単結晶4H-SiCカンチレバーを作製した。作製したカンチレバーの共振特性の測定では鋭い共振ピークが観測され、共振周波数は1次、2次ともにシミュレーションの結果と一致した。また共振のQ値は最大で230,000という非常に高い結果を得た。比較のために、SiC MEMSの主流であるSi基板上3C-SiCカンチレバーを作製し評価した結果、Q値は同様の寸法のもので18,000であり、単結晶4H-SiCカンチレバーは3C-SiCカンチレバーより10倍高いQ値を示した。これより、単結晶4H-SiCは高感度センサ応用などが期待できる優れたMEMS材料であると言える。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e583 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46399811649775,"sku":"IEEJ-ZT133122-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_179cb2ef-3814-41bf-a1ae-fb638242286d.png?v=1744909610","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt133122","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}