{"product_id":"ieej-zt133123","title":"FePd\/Si積層型共振子の特性評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-123\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEvaluation of Characteristics of FePd\/Si Stacked layer Resonator\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e齊藤 崇(千葉工業大学),末澤航一 (千葉工業大学),宮口 涼(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学),斉藤 千尋(並木精密宝石)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSaito Takashi(Chiba Institute of Technology),Suezawa Kouichi(Chiba Institute of Technology),Miyakuchi Ryo(Chiba Institute of Technology),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology),Saito Chihiro(NAMIKI PRECISION JEWEL CO.,LTD.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e共振子|磁歪|積層|SOI-MEMS|片持ち梁\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e現在用いられている高感度磁気センサとしてはGMR素子やフラックスゲート磁気センサなどが開発されていて、さらに比較的ダイナミックレンジが広いセンサとしては磁歪材\/圧電材の積層型磁気センサも注目されている。本研究では、磁歪材料としてスパッタによる薄膜形成が可能なFePdに注目し、MEMS技術への適用を考慮しFePd\/Si片持ち梁構造のU字形共振子を設計、試作し、その共振特性の評価を行った。試作したサンプルはコイル中に装着し、所定のDC磁界にAC磁界を重畳させて周波数特性を測定した。共振周波数は約10kHzでDC磁界を増加させていくと共振周波数が徐々に低下し、20Oe程度で飽和する特性が得られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e354 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399812042991,"sku":"IEEJ-ZT133123-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_79cdc6e8-a8df-4a76-b3f0-0f4a152e9468.png?v=1744909627","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt133123","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}