{"product_id":"ieej-zt133133","title":"グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-133\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProcess simulator for 3D microfabrication using DMD-based grayscale lithography\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e加藤義基 (京都大学),平井 義和(京都大学),Floris Kempen(Delft University of Technology),Fred Keulen(Delft University of Technology),菅野 公二(京都大学),土屋 智由(京都大学),田畑 修(京都大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshiki Kato(Kyoto University),Yoshikazu Hirai(Kyoto University),Floris van Kempen (Delft University of Technology),Fred van Keulen (Delft University of Technology),Koji Sugano(Kyoto University),Toshiyuki Tsuchiya(Kyoto University),Osamu Tabata(Kyoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eリソグラフィ|シミュレーション|3次元微細加工|厚膜フォトレジスト|MEMS|グレースケールリソグラフィ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eDMDを使ったマスクレス露光法によるグレースケール露光が3次元微細加工技術の1つとして注目されている。我々はグレースケール露光のプロセスパラメータ最適化手法を構築する上で重要な機能モジュールであるグレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータを構築した。具体的にはDMDの露光光学系を考慮した新規の露光シミュレーションに既存の厚膜レジスト用現像シミュレーションを適用したシミュレータである。プロセスシミュレータの妥当性を評価するためにシミュレータによる形状予測結果と種々の3次元微細構造体と作製結果を比較したところ、シミュレータは実際の加工プロファイルを再現できていることが確認できた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e432 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46399812763887,"sku":"IEEJ-ZT133133-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_10dcefca-537e-4f46-a187-192a0d494629.png?v=1744909681","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt133133","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}