{"product_id":"ieej-zt133158","title":"共振周波数可変型圧電マイクロ超音波センサのポーリング処理による感度と周波数制御性の向上","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-158\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSensitivity and tunability improvement by poling of frequency-tunable piezoelectric ultrasonic microsensors\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e森本 篤(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),田中 光(京都工芸繊維大学),楊 藝(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMorimoto Atsushi(Kyoto Institute of Technology),Yamashita Kaoru(Kyoto Institute of Technology),Tanaka Hikaru(Kyoto Institute of Technology),Yang Yi(Kyoto Institute of Technology),Noda Minoru(Kyoto Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e超音波センサ|共振|ポーリング|応力|チューニング\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e電極構造をセンシング用と共振周波数チューニング用の内外2重にした圧電ダイアフラム型マイクロ超音波センサにおいて，センシング電極へのポーリングがセンサ感度と周波数チューニング特性に与える影響について評価を行った。内部電極に0~8Vのポーリング電圧，外部電極に±6Vまでのチューニング電圧を印加し，超音波パルスに対するセンサの応答出力を調べた結果，8Vのポーリング時では共振周波数変化率は164%となり，ポーリングを行わない時の183％に比べ減少したが，ポーリング電圧の組み合わせを工夫することで199%の共振周波数変化率を実現できる可能性を示した。また，今回ポーリングを併用した場合には従来に比べて2.8?10倍の感度向上が得られた。これらより，ポーリング電圧を上手く組み合わせることで，大幅な感度向上とチューナビリティの向上を両立できる可能性を示した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e329 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399816040687,"sku":"IEEJ-ZT133158-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_da85ae79-34b6-40c5-ab6c-74c666b2a19a.png?v=1744909744","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt133158","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}