{"product_id":"ieej-zt133173","title":"有機薄膜トランジスタ（OTFT）を利用したMEMS加速度センサの作製およびその性能評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-173\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of MEMS accelerometer using organic thin film transistor and its characterization\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e北村 健太朗(関西大学),鈴木 昌人(関西大学),高橋 智一(関西大学),青柳 誠司(関西大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKentaro Kitamura(Kansai University),Masato Suzuki(Kansai University),Takahashi Tomokazu(Kansai University),Seiji Aoyagi(Kansai University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e加速度センサ|有機薄膜トランジスタ(OTFT)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e有機半導体を利用した薄膜トランジスタ（OTFT）を用いた加速度センサを提案し，その有用性を検討した．OTFTは靭性材料のみを用いて作製することができるため，ひずみを加えても構造が損傷しない．このため，柔軟な梁構造や基板状に形成することで，慣性力などによりたわむようませることが可能である．このとき，有機半導体のキャリア移動度がひずみにより変化し，OTFTの特性が変化するので，この特性変化から加速度を評価することが可能になる．本研究で実施した概算により，提案するセンサの感度は5.2%\/gとなると見積もられる．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e428 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46399819219183,"sku":"IEEJ-ZT133173-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a6e18c02-5f20-4abc-b510-8e2fd22a9e53.png?v=1744909882","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt133173","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}