{"product_id":"ieej-zt141134","title":"窒素ガスを導入したプレーナー型Ar誘導熱プラズマ発光強度分布","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-134\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSpatial Distribution of Radiation Intensity from a Planar Type of Ar Inductively Coupled Thermal Plasma with Nitrogen Gas Injection\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e入江 寛光(金沢大学),赤尾 美香(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiromitsu Irie(Kanazawa University),Mika Akao(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Isijima(Kanazawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e熱プラズマ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e筆者らは，平面型誘導熱プラズマ装置の先駆けとし，プレーナー型石英容器を採用し，空芯型およびフェライトコア型コイルを用いたプレーナー型Ar熱プラズマ装置を作成している。実際の熱プラズマプロセスにおいては分子性ガスを導入する。今回，空芯型コイルを用いて，窒素ガスを導入し，平面型熱プラズマを維持する試験を行った。窒素を導入することにより，窒化プロセスへの応用が可能となる。そのときの熱プラズマトーチの上方，中心，下方のスペクトル放射強度を測定した。窒素ガスを導入すると熱プラズマのリングが明確になり，スペクトル強度が低下する。発光スペクトルは窒素分子，原子スペクトルが確認できた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e779 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399841763567,"sku":"IEEJ-ZT141134-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_cef1c48c-9cc7-4b7d-bf15-d778fcbf5a28.png?v=1744910589","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt141134","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}