{"product_id":"ieej-zt141138","title":"導電性DLC成膜に向けた大気圧・準大気圧プラズマを用いた成膜技術の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-138\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of Atmospheric\/sub-atmospheric Pressure Plasma Device for Preparation of Conductive DLC Films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田中 啓右(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),松尾 吉晃(兵庫県立大学),大坪 陽(栗田製作所),西村 芳実(栗田製作所),永田 正義(兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKeisuke Tanaka(University of Hyogo),Yusuke Kikuchi(University of Hyogo),Yoshiaki Matsuo(University of Hyogo),Akira Otsubo(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Yoshimi Nishimura(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Masayoshi Nagata(University of Hyogo),Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e大気圧プラズマ|ダイヤモンドライクカーボン|成膜\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eダイヤモンドライクカーボン（Diamond-like carbon: DLC）は高硬質，低摩擦性，ガスバリア性など優れた性質を有し，主に機械部品へのコーティングとして応用展開されている。一方，DLCに導電性を付与することができれば，DLCの優れた機械的，化学的特性に導電性を付与することができれば，安価な金属薄板へのコーティングにより，燃料電池の金属セパレータに使用するなど様々な応用分野が期待できる。本研究では大気圧・準大気圧下においてグロー放電プラズマを生成し，成膜基板の温度を制御しながら成膜を行うことで，導電性DLC成膜を行う装置を開発する。講演では得られたカーボン膜のレーザラマン分光計測結果，ナノインデンターによる硬度計測結果等についても発表する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e239 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399844221167,"sku":"IEEJ-ZT141138-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_735fe2cc-50f2-4871-8c17-ac37915dc431.png?v=1744910621","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt141138","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}