{"product_id":"ieej-zt143128","title":"MEMS加速度センサによるSub-1G検出の基礎検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-128\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Study on MEMS Accelerometers for Sub-1G Detection\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山根 大輔(東京工業大学),小西 敏文(NTTアドバンステクノロジ),松島 隆明(NTTアドバンステクノロジ),年吉 洋(東京大学),町田 克之(NTTアドバンステクノロジ),益 一哉(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eDaisuke Yamane(Tokyo Institute of Technology),Toshifumi Konishi(NTT Advanced Technology Corporation),Takaaki Matsushima(NTT Advanced Technology Corporation),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo),Katsuyuki Machida(NTT Advanced Technology Corporation),Kazuya Masu(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eMEMS|加速度センサ|ブラウニアンノイズ|静電容量型|金\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eThis paper presents a novel microelectromechanical systems (MEMS) accelerometers for sensing sub-1G (G = 9.8 m\/s\u003csup\u003e2\u003c\/sup\u003e) acceleration. The accelerometer has a high-density proof mass to suppress the Brownian noise that dominates the output noise of the sensor. The low-temperature (\u0026lt; 400 \u003csup\u003eo\u003c\/sup\u003eC) electroplating process enables to integrate the accelerometer on the sensing CMOS circuit; a gold (19.3×10\u003csup\u003e3\u003c\/sup\u003e kg\/m\u003csup\u003e3\u003c\/sup\u003e, 298 K) proof mass of 1020 μm × 1020 μm in area with the thickness of 12 μm has been found to suppress the measured noise floor to 0.78 μG\/Hz\u003csup\u003e1\/2\u003c\/sup\u003e at 300 K, which is nearly one order of magnitude smaller than those of the conventional MEMS accelerometers made of silicon (2.33×10\u003csup\u003e3\u003c\/sup\u003e kg\/m\u003csup\u003e3\u003c\/sup\u003e, 298 K).\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e390 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399908905199,"sku":"IEEJ-ZT143128-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3c05bcf8-3979-485c-ac46-4448ba3b725c.png?v=1744912606","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt143128","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}