{"product_id":"ieej-zt143134","title":"P(VDF\/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波センサ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-134\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF\/TrFE) Thin Films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田中 恒久(大阪府立産業技術総合研究所),村上 修一(大阪府立産業技術総合研究所),宇野 真由美(大阪府立産業技術総合研究所),山下 馨(京都工芸繊維大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTsunehisa Tanaka(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Shuichi Murakami(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Mayumi Uno(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e超音波センサ|MEMS|圧電|超音波|センサ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eP(VDF\/TrFE)薄膜を圧電体薄膜として使用したMEMS超音波センサを作製した。センサ上に作製したP(VDF\/TrFE)薄膜は、良好な強誘電特性を示した。作製したMEMS超音波センサの受信感度特性を評価した結果、センサ感度が36?V\/Pa, 共振周波数が181kHz、Q値が18である。P(VDF\/TrFE)圧電薄膜は、圧電出力定数g31が大きく、ヤング率が小さく、音響インピーダンスが小さいため、構造を最適化していくことにより、感度向上が可能であると考えられる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e373 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46399908184303,"sku":"IEEJ-ZT143134-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d9bb6b9e-5fa3-4faf-995d-773e48f0d984.png?v=1744912559","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt143134","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}