{"product_id":"ieej-zt143146","title":"PLD法を用いSi基板上に成膜した等方性Nd-Fe-B系厚膜磁石の特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-146\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProperties of PLD-fabricated isotropic Nd-Fe-B thick film magnets deposited on Si substrates\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山下 昂洋(長崎大学),押領司 学(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学),藤井 泰久(KRI)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAkihiro Yamashita(Nagasaki University),Manabu Oryoshi(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University),Yasuhisa Fujii(KRI,Inc.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003ePLD|Nd-Fe-B|Si|MEMS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e着磁数の自由度に利点を有する「等方性厚膜磁石」は，膜面内方向より外部に取り出す磁界を利用した、ミリサイズモータや摩擦駆動型モータやMEMSへの応用が報告されている。本研究では，エネジ―ハーベストデバイスへの応用を鑑み，PLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い「ターゲットのNd含有量」を変化させる事により，試料の剥離を抑制し、Si基板上に等方性Nd-Fe-B系磁石膜を直接成膜することができ、保磁力を中心にその磁気特性を評価したので報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e236 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399910084847,"sku":"IEEJ-ZT143146-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_338b6395-f0e9-4155-abc7-a4efd7fa6529.png?v=1744912666","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt143146","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}