{"product_id":"ieej-zt143157","title":"高Q値を有する単結晶4H-SiC静電駆動マイクロカンチレバーの作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-157\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of Electrostatically Actuated Single-Crystalline 4H-SiC Micro Cantilevers with a High Quality Factor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐藤孝亮 (京都大学),足立 亘平(京都大学),岡本 創(NTT物性科学基礎研究所),山口 浩司(NTT物性科学基礎研究所),木本 恒暢(京都大学),須田 淳(京都大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKosuke Sato(Kyoto University),Kohei Adachi(Kyoto University),Hajime Okamoto(NTT Basic Research Laboratories),hiroshi Yamaguchi(NTT Basic Research Laboratories),tsunenobu Kimoto(Kyoto University),Jun Suda(Kyoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマイクロエレクトロメカニカルシステム|炭化ケイ素|電気化学エッチング\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e単結晶n型4H-SiC基板上にn型層、p型層、n型層を順にホモエピタキシャル成長させたnpn多層構造を用いて、電気化学エッチングによりp型SiC層のみを選択的にエッチングすることで単結晶4H-SiCカンチレバーを作製した。カンチレバーと基板が近接した構造であり、カンチレバー基板間に0.8 mVrmsの交流電圧と2 Vの直流電圧を印加することで、カンチレバーを静電気力により駆動させることができた。測定した共振特性の共振周波数および半値幅よりQ値を計算すると、4H-SiC静電駆動カンチレバーは200,000程度の非常に高いQ値を有することが示された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e595 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46399911100655,"sku":"IEEJ-ZT143157-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_534112f9-0799-4556-9857-43196f396d54.png?v=1744912723","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt143157","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}