{"product_id":"ieej-zt143161","title":"熱式マイクロアクチュエータのモデル化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-161\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eModelling of Thermal Microactuators\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e王 冠(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eGuan Wang(Chiba Institute of Technology),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e熱式マイクロアクチュエータ|モデル化|MEMS|バイメタル効果|片持ち梁\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年のエレクトロニクスではMEMS技術を用いたマイクロアクチュエータが多く開発されているが、著者らは比較的簡単構造で大きな変位が得られるSOI基板を用いた片持ち梁構造の熱式マイクロアクチュエータの研究を行ってきた。今回このような熱式マイクロアクチュエータのモデル化の検討を行った。Si片持ち梁上にAu膜を形成した熱式マイクロアクチュエータの変位特性を計算し、単純モデル化の検討を行い、特性を表す近似式を得ることができた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e308 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46399910904047,"sku":"IEEJ-ZT143161-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_aabffd7b-2ac0-4b79-89bc-be6ed7bcf1d3.png?v=1744912717","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt143161","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}