{"product_id":"ieej-zt151081","title":"Si製スロットアンテナによるマイクロ波励起水中気泡プラズマの基礎特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-081\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2015\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFundamental properties of microwave excited bubble plasma using Si slot antenna\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e北野 卓也(金沢大学),伊藤 卓也(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),西山 聖(大阪市立大学),堀邉 英夫(大阪市立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakuya Kitano(Kanazawa University),Takuya Ito(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Takashi Nishiyama(Osaka City University),Hideo Horibe(Osaka City University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ|アッシング|半導体デバイス製造プロセス|レジスト膜除去\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e薬液を用いない環境に負荷の小さいマイクロ波励起水中気泡プラズマを用いた，低環境負荷のレジスト膜除去方式の実プロセスへの適用に向け，アンテナ材料として半導体(Si)を用いたプラズマ生成を試み，基礎特性を調査した。結果として，Si製スロットアンテナを用いた場合においても，低温プロセスおよびレジスト膜除去を実現した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e841 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46400034767087,"sku":"IEEJ-ZT151081-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_9e7bca50-075c-44e8-97b6-4d96079c45fd.png?v=1744917196","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt151081","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}