{"product_id":"ieej-zt151095","title":"O2混合ループ型Ar誘導熱プラズマの基板上での長尺一様生成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-095\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2015\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003eO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e混合ループ型Ar誘導熱プラズマの基板上での長尺一様生成\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eUniform Formation of Ar\/O\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e Loop Type of Induction Thermal Plasmas on the Substrate\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e丸山 裕司(金沢大学),入江 寛光(金沢大学),Suan Tail Mai Kai(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),幸本 徹哉(シー・ヴィ・リサーチ),川浦 廣(シー・ヴィ・リサーチ)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuji Maruyama(Kanazawa University),Hiromitsu Irie(Kanazawa University),Suan Tail Mai Kai(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto(CV Research Corporation),Hiroshi Kawaura(CV Research Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e誘導熱プラズマ|酸化|発光スペクトル\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e筆者らは熱プラズマによる大面積処理を目指し，「ループ型誘導熱プラズマトーチ」を開発した。この「ループ型誘導熱プラズマトーチ」において，ループ管内でAr誘導熱プラズマを点弧でき，極めて安定維持できることを確認できている。本報告ではSi基板の酸化処理を目的として，Ar誘導熱プラズマにO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eを導入した場合について，熱プラズマの発光を測定した。その結果，基板上にほぼ一様なAr\/O\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e誘導熱プラズマが生成できることを確認した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,094 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46400213385455,"sku":"IEEJ-ZT151095-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f935dd97-f31a-4f12-b565-50b3eb834319.png?v=1744920022","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt151095","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}