{"product_id":"ieej-zt153113","title":"Sub-1G検出可能な3軸MEMS加速度センサの基礎検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-113\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2015\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Study on MEMS Accelerometers for Tri-axis Sub-1G Detection\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山根 大輔(東京工業大学),小西 敏文(NTTアドバンステクノロジ),松島 隆明(NTTアドバンステクノロジ),年吉 洋(東京大学),町田 克之(東京工業大学),益 一哉(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eDaisuke Yamane(Tokyo Institute of Technology),Toshifumi Konishi(NTT-AT),Takaaki Matsushima(NTT-AT),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo),Katsuyuki Machida(Tokyo Institute of Technology),Kazuya Masu(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e加速度センサ|MEMS|３軸\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eSub-1G検出用3軸MEMS加速度センサの可能性を検討し、高密度な単一錘を提案し、MEMS機械雑音（Brownian Noise）の設計値は0.30 μG\/Hz\u003csup\u003e1\/2\u003c\/sup\u003e程度を得た。これは、一般的な市販MEMS加速度センサと比較して3桁ほど低ノイズである。また，CMOS後工程に適用可能な金めっきプロセスでMEMS作製できるため、CMOSセンサ回路とMEMSのワンチップ集積が可能である。今回、基礎検証として容量－周波数特性、容量－加速度依存性の実験を行い、1 G以下の印加加速度に対する静電容量変化を実験的に確認した。これにより、集積化CMOS-MEMS加速度センサの3軸・高感度化への見通しを得た。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e308 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46400264896751,"sku":"IEEJ-ZT153113-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_79dc28a1-a0f8-4378-b8c0-7477631495b2.png?v=1744921428","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt153113","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}