{"product_id":"ieej-zt162032","title":"圧力波検出用半導体センサ開発への基礎研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-032\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFundamental Study for Development of Pressure Wave Detector using Semiconductor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e園田 啓太(東京都市大学),熊岡 賢祐(東京都市大学),三宅 弘晃(東京都市大学),田中 康寛(東京都市大学),澤野 憲太郎(東京都市大学),丸泉 琢也(東京都市大学),越石 英樹(宇宙航空研究開発機構)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKeita Sonoda(Tokyo City University),Kensuke Kumaoka(Tokyo City University),Hiroaki Miyake(Tokyo City University),Yasuhiro Tanaka(Tokyo City University),Kentarou Sawano(Tokyo City University),Takuya Maruizumi(Tokyo City University),Hideki Koshiisi(Japan Aerospace Exploration Agency)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルス静電応力法,空間電荷分布,シリコン基板\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、多くの電気機器が普及し、機器の小型・高性能化により、使用される厚さ数マイクロメートルオーダーの絶縁材料の絶縁性能の評価が望まれている。当研究グループでは薄膜絶縁材料の評価を行うために、測定装置の位置分解能の向上を図ってきた。これまでに、厚さ25 ?m程度の試料の評価を行うことが可能である、位置分解能2 ?m程度の測定装置の開発に成功した。今回、測定装置のさらなる高分解能化に向け、高分解能型測定装置を用いて、半導体空乏層内の空間電荷分布測定を行った。その結果、空乏層における逆バイアス、順バイアス特性だと考えられる、出力信号波形が印加電界の極性によって、増減する傾向を観測することができた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e257 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46400762872047,"sku":"IEEJ-ZT162032-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_84bb0ee6-d9c8-40ab-b1ac-acf03507bb69.png?v=1744928794","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt162032","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}