{"product_id":"ieej-zt162085","title":"レーザアニールによるダイヤモンド状炭素の電気，光学的特性改善","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-085\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eElectrical and optical properties improvement of Diamond-Like-Carbon by Laser Annealing\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e渡邉 学(日本大学),大野 貴史(日本大学),胡桃 聡(日本大学),松田 健一(日本大学),鈴木 薫(日本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eGaku Watanabe(Nihon University),Takafumi Ohno(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Ken-ichi Matsuda(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e太陽電池,ダイヤモンド状炭素,レーザアニール\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eDLC薄膜はレーザアニールによりダイヤモンド化することが期待されていることから，我々はDLC薄膜のバンドギャップ0.8?3.3 eVからダイヤモンドの5.6 eVまでレーザの照射条件によって制御できるのではないかと考えている。本稿ではDLC薄膜の電気，光学的特性を改善するために，DLC薄膜に対しレーザアニール処理を行い，アニール処理後のDLC薄膜の特性改善を実験的に検討した。DLC薄膜はイオン化蒸着法により成膜され，Nd:YAGレーザ（波長 355 nm，パワー密度 3.0W\/cm-1）でアニール処理を行った。顕微ラマン分光測定結果により成膜後のD-peakとG-peakの強度比ID\/IG は0.29であり，アニール後はID\/IG = 0.75と確認できた。このことから，レーザアニールによってDLC薄膜中のダイヤモンドが支配的となることが確認された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e230 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46400777027823,"sku":"IEEJ-ZT162085-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d235191a-baeb-409c-881c-df9661aa5525.png?v=1744928995","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt162085","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}