{"product_id":"ieej-zt163151","title":"静電駆動型MEMS光スキャナの振動特性の温度特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-151\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eTemperature Dependence of the Scanning Performance of the Electrostatic Micro Scanner\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e石河 範明(富士電機),岡崎 公嗣(九州大学),澤田 廉士(九州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNoriaki Ishikawa(Fuji Electric Co., LTD.),Koji Okazaki(Kyushu University),Renshi Sawada(Kyushu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eMEMS,光スキャナ,固有振動数,温度依存性,静電駆動型\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e静電駆動型MEMS光スキャナはレーザープロジェクター、共焦点内視鏡など様々な機器に適用可能であるが、温度によってその振動特性が変化するという問題がある。本研究では、静電駆動型マイクロスキャナの振動依存性の測定結果について報告する。静電駆動型マイクロスキャナ単体の温度依存性を測定するため、静電駆動型マイクロスキャナのみを加熱し、その他の実験装置は室温で評価した。その結果、固有振動数とQ値は温度が高くなると低下し、その変化率は固有振動数が－0．065／℃、Q値が－0．44／℃であった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e368 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46400816972015,"sku":"IEEJ-ZT163151-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c33d53a3-48d5-4cf4-bef1-1476a41c46ad.png?v=1744929639","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt163151","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}