{"product_id":"ieej-zt164032","title":"走査型容量原子間力顕微鏡による空乏層の可視化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-032\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eVisualization of the depletion layer by scanning capacitance force microscopy with Kelvin probe force microscopy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e潤間 威史(千葉工業大学),佐藤 宣夫(千葉工業大学),山本 秀和(千葉工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eUruma Takeshi(Chiba Institute of Technology),Nobuo Satoh(Chiba Institute of Technology),Hidekazu Yamamoto(Chiba Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e表面電位,原子間力顕微鏡,空乏層,ショットキーバリアダイオード,ケルビンプローブフォース顕微鏡\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e走査型プローブ顕微鏡の一つである，AFM\/KFM\/SCFMの複合装置を開発し，空乏層の可視化を行った．市販のシリコン製ショットキーバリアダイオード（Si-SBD）を断面研磨し，その界面領域を，我々が開発しているAFM\/KFM\/SCFMによって観察した．逆バイアス印加による表面形状の差異は見られない．しかし，ケルビンプローブ力顕微鏡による電位観察からショットキー接合部の推定，及び走査型容量原子間力顕微鏡による，空乏層領域の可視化をSi-SBDへの逆バイアス印加観測により行った．結果から，空乏層幅の見積もりとエネルギーバンド図の描画を行い，当該装置をデバイス観察に適用可能であることが分かった．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e583 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46400825721071,"sku":"IEEJ-ZT164032-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bb421c3b-29a5-45be-88a0-640bcaee8573.png?v=1744929751","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt164032","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}