{"product_id":"ieej-zt171106","title":"マイクロ波励起大気圧プラズマ支援による薄膜堆積法の検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-106\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eInvestigation of Thin Film Deposition Method Assisted by Microwave Excited Atmospheric Pressure Plasma法の検討\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大野 常久(金沢大学),山田 涼輔(金沢大学),當摩 哲也(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTsunehisa Ono(Kanazawa University),Ryosuke Yamada(Kanazawa University),Tetsuya Taima(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ|ZnO|薄膜|マイクロ波|大気圧\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e電子デバイスの製造には有機膜や無機膜の製膜工程があり、低温・低コストな製膜手法が求められている。我々は、マイクロ波励起大気圧プラズマジェット(MWAPPJ)を用いた簡便な製膜手法を研究している。本研究ではMWAPPJにより生成した活性種とターゲット材を作用・堆積させる、ZnO薄膜堆積手法を検討した。Sol-gel前駆体を担持したターゲット材に、MWAPPJ(O\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e:0%)を照射し堆積物を生成した。堆積物に対するXPS分析からZnスペクトルは、Sol-gel法による薄膜と比較して、より安定な結合状態を示しMWAPPJ(O\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e:0.1%)照射では、更に安定な結合状態を示した。結果からMWAPPJにより酸素由来の活性種が生成され、ZnO薄膜堆積時のZnとO原子との反応を促進し、安定なZnO結合を形成したことが示唆される。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e271 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401198948591,"sku":"IEEJ-ZT171106-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a3dc14f0-3975-4ed8-9afa-a7ec5c9c1464.png?v=1744937092","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt171106","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}